Anwendungsbeispiel ASML

Vorteile für ASML
Über dreimal bessere Leistung als die bisher verwendeten aktiven Systeme
Unabhängig von einer externen Energiequelle
Nachhaltigere Lösung
Eine Fülle von Unterstützungsdienstleistungen
Wesentlich geringere Fehleranfälligkeit von passiven Lösungen
Ausgezeichnetes Verhältnis zwischen Innen- und Außenmaßen
Schnelle Reaktion auf Anfragen
Einfache Handhabung
Ein Standardkonzept für alle temperatursensitiven Teile